UNaFabUnidad especializada
Unidad de Nanofabricación
Diseño y fabricación de dispositivos a escala micro y nanométrica mediante técnicas de litografía y nano-impresión.
La unidad
La Unidad de Nanofabricación (UNaFab) es una dependencia del Centro de Nanociencias y Nanotecnología de la UNAM. Está dedicada a la investigación, haciendo énfasis en el desarrollo científico y la innovación en procesos de diseño y fabricación de dispositivos en las escalas micro y nanométrica, mediante el uso de técnicas de litografía y nano-impresión.
Se estableció a partir del proyecto de Laboratorio Nacional de Nanofabricación del Conacyt, con el firme propósito de incidir en la formación de recursos humanos de calidad, optimizar recursos y realizar la prestación de servicios especializados de alta calidad en el campo del diseño y fabricación de dispositivos.
Las tres principales funciones de la UNaFab son:
- Investigación en procesos de diseño y fabricación de dispositivos micro y nanométricos.
- Formación de recursos humanos de calidad, mediante capacitación y entrenamiento.
- Prestación de servicios especializados de alta calidad.
Servicios
Los servicios se prestan por colaboración con la unidad. Escríbenos para plantear tu proyecto y definir juntos el alcance.
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Cursos de capacitación
Capacitación en procesos básicos de fabricación de dispositivos.
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Asesoría en fotolitografía
Asesoría en la fabricación de dispositivos a través de procesos de fotolitografía. Dirigido a estudiantes de posgrado e investigadores interesados.
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Fabricación de máscaras
Fabricación de máscaras para procesos de fotolitografía. El costo depende de la resolución deseada.
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Transferencia de patrones micrométricos
Transferencia de patrones a través de máscaras, a materiales que permitan decapado con plasma o con algún tipo de ácido.
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Fabricación de micro-dispositivos
Prototipos para electrónica, optoelectrónica y/u óptica integrada.
Infraestructura
15 equipos organizados por proceso. Cada ficha detalla marca, modelo y especificaciones.
Transferencia de patrones
- Alineadora de máscaras Midas MDA-400M Transferencia de patrones a obleas de 3"–4" con fotomáscaras de 5"×5".
- Escritora láser MicroWriter ML®3 Litografía sin máscara con resoluciones de 0.6 a 5 μm sobre 195×195 mm.
- Nanoimpresora Nanonex NX-2000 Nano-impresión de patrones tridimensionales con resolución menor a 10 nm.
Aplicación de fotoresina y HMDS
Limpieza y lavado
Decapado
Procesos de verificación
Personal
Uso de las instalaciones
Para tener acceso a estas instalaciones el interesado deberá cumplir con los siguientes requisitos:
- Entregar al responsable de la UNaFab un protocolo en el que se describa lo que se pretende fabricar. El responsable evaluará la propuesta y emitirá un dictamen por escrito sobre la factibilidad de desarrollar el proyecto en estas instalaciones, y detallará los costos que conllevará su realización. En algunos casos el responsable solicitará entrevistarse con el interesado.
- Una carta dirigida al responsable de la UNaFab, con copia al Secretario Administrativo del CNyN, en la que se defina el mecanismo de financiación de los gastos por prestación de servicio, así como los gastos específicos que se generen en la ejecución del proyecto. Asimismo, se debe establecer el compromiso de apoyar a la UNaFab con los recursos económicos suficientes en caso de que el equipo sufra daño por mal uso.
- Firmar el documento en el que se establece el compromiso de cumplir con todos los lineamientos para el uso del laboratorio y de los equipos. Estos lineamientos se entregan durante el entrenamiento que todo usuario debe recibir.
La UNaFab opera de lunes a viernes de 8:00 a 17:00 horas. Los cursos de capacitación en el uso de equipos se imparten durante la mañana de los miércoles en días laborales.
Lunes a viernes, 8:00–17:00 h
Reservas y reglamentos
Las reservas se gestionan en el sistema de la unidad
El alta de usuarios, la capacitación y las solicitudes de tiempo de equipo se hacen en el sistema de la UNaFab, con una cuenta propia de ese sistema.
Los reglamentos y formatos son de uso interno
Inicia sesión con tu cuenta del CNyN para consultarlos.