Procesos de verificación
Elipsómetro
Woollam Alpha SE
Medición de espesor de películas delgadas (380–900 nm).
Capacidades
Sistema Woollam Alpha SE. Opera en el rango de longitudes de onda de 380 a 900 nm. En este equipo la fuente y el detector pueden colocarse a ángulos fijos de 65°, 70°, 75° o 90° (directo). El elipsómetro permite determinar el espesor de las películas delgadas durante el proceso de fabricación.
Especificaciones
- Rango
- 380–900 nm
- Ángulos
- 65°, 70°, 75°, 90°