Transferencia de patrones
Alineadora de máscaras
Midas MDA-400M
Transferencia de patrones a obleas de 3"–4" con fotomáscaras de 5"×5".
Capacidades
La alineadora de máscara es una Midas MDA-400M que puede operar con diferentes modos de contacto (fuerte, vacío, proximidad). Permite transferir patrones a obleas de 3"–4" de diámetro y sustratos pequeños usando fotomáscaras cuadradas de 5"×5". La iluminación que utiliza es UV de 365 nm. La dosis y el tiempo de exposición son controlados por computadora.
Especificaciones
- Iluminación
- UV 365 nm
- Obleas
- 3"–4" de diámetro
- Modos de contacto
- Fuerte, vacío, proximidad