Crecimiento de películas
Depósito de parileno (CVD)
SCS Labcoter® 2 (PDS 2010)
Recubrimientos conformales de parileno por depósito al vacío.
Capacidades
Sistema de depósito al vacío SCS Labcoter® 2 (PDS 2010). Permite hacer recubrimientos conformales de parileno (parylene).