Aplicación de fotoresina y HMDS
Funcionalizador con HMDS
PicoTrack PCT 150 RRE
Funcionalización de superficies con HMDS para mejorar la adhesión de la fotoresina.
Capacidades
El sistema PicoTrack PCT 150 RRE permite funcionalizar las superficies de las muestras con HMDS (hexametildisilazano) para mejorar la adhesión de la fotoresina. El sistema está totalmente automatizado y permite trabajar con obleas de 4 y 6 pulgadas. También permite hacer recocidos de las muestras en vacío a temperaturas de hasta 250 °C.
Especificaciones
- Obleas
- 4" y 6"
- Recocido en vacío
- hasta 250 °C