Escritora láser

Sistema MicroWriter ML®3 que ofrece resoluciones de 0.6 μm, 1 μm, 2 μm y 5 μm. Trabaja con archivos en formatos CAD (CIF, BMP, TIFF y GDSII) que pueden seleccionarse automáticamente por software, sin que el usuario cambie ninguna lente manualmente. Permite elaborar diseños con un área de escritura máxima de 195 mm × 195 mm.

Posee cámara de microscopio óptico infinito conjugado de alta calidad, con lentes Olympus 5x, 10x y 20x e iluminación de luz amarilla para la alineación de marcadores litográficos en la oblea (±0.5 μm de precisión de alineación).