Decapado
Sistema de plasma PE-100
PE-100
Decapado seco con CF₄ y CHF₃ hasta 300 W.
Capacidades
El sistema PE-100 permite hacer decapados con gases tales como CF₄ y CHF₃ a una potencia máxima de 300 W. También puede utilizarse para realizar decapados de polímeros como el parileno.
Los equipos de decapado por plasma pueden operar en varios modos ajustando los parámetros del plasma; un plasma ordinario funciona entre 0.05 y 5 Torr. El plasma produce radicales libres energéticos con carga neutra que reaccionan en la superficie de la muestra; dado que las partículas neutras atacan la oblea desde todos los ángulos, este proceso es isotrópico.
Especificaciones
- Potencia máxima
- 300 W
- Gases
- CF₄, CHF₃
- Presión de trabajo
- 0.05 – 5 Torr